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文章来源:shxj365
发布时间:2024-05-02 18:07:22
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通过石墨加热器产生的高温将其熔化,然后,对熔化的硅液稍降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面。把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚原理编辑首先待籽晶与熔体熔和后随后生长出一定直径规格大小的单晶柱体。
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影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接,以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接,以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气,影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通,以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成,石墨具有强度高,抗热震性好,耐高 温。不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高,如果热场的温度分布不是很合理,生长硅单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资硅单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出合理的热场,从而保生产出来的硅单晶的品质。在直拉硅单晶生长工艺中,一般采用温度梯度来描述热场的温度分布情况。设计与编辑在直拉法生长硅单晶的过程中其中在固液界面处的温度梯度为关键。硅单晶生长的成与否以及质量的高低是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场数值模拟是在一个低成本的情况下所以数值是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径。